CS-1 晶片內位錯檢測儀產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特長(cháng)

1. 高速測量（6" 襯底　90秒）
   ?可以最快速度簡(jiǎn)捷方式觀(guān)察殘留應力分布。
   

2. 縱向結晶評價(jià)
   ?因為是透視型結晶評價(jià)裝置，所以不只可以觀(guān)察襯底表面，還可以觀(guān)察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
   ?可以取得同等測試效果，實(shí)現高速低成本。
   

4. 價(jià)格競爭力
   ?在晶片測量裝置中，屬于性?xún)r(jià)比好的一款系統。